Tergeo-EM透射样品杆氧原子清洗仪

简介： 氧原子清洗仪不是一个普通意义上的“等离子清洗器”。等离子清洗器为广大电镜工作者所熟知，它利用加速后具有一定能量的离子体轰击样品从而达到清洁样品表面的目的，但同时会刻蚀损坏样品表面形貌。而氧原子清洗仪利用原子氧与碳氢化合物发生反应从而达到清洁样品表面的目的，同时保护样品免受热量和离子的轰击。氧原子与碳氢化合物反应后生成的CO2, CO和H2O分子被真空泵安全排出。  

产品概述：

Tergeo-EM氧原子清洗仪是专门为SEM/TEM清洗任务而设计的设备。通过两个不锈钢适配器Tergeo-EM可放置不同透射电镜厂家的样品杆；在石英腔内部亦可放置不同扫描电镜厂家的样品托。

 
特色功能:

Tergeo-EM氧原子清洗仪在同一系统里集成了浸没模式（样品浸没在等离子体中）和柔和模式（样品处于等离子体之外）两种模式的TEM/SEM等离子体（氧原子）清洗仪。浸没模式（传统等离子清洗模式）由于离子轰击效应的存在，可以非常快速地清洗样品表面，但副作用为会引起样品表面形貌的变化。柔和模式则完全消除了离子轰击效应，清洗时为纯粹的氧化还原反应消除污染，特点是清洗强度柔和但速度稍慢，适合于清洗敏感样品等。 

特别是对于透射电镜超薄碳膜来说，通常其厚度仅为数nm，一般的等离子清洗仪在非常短时间内即会把碳膜轰破，而氧原子清洗仪独有的柔和清洗模式，在清洗污染的同时尽力保护碳膜避免其被破坏。

 Tergeo-EM还标配了等离子体传感器以实时监测等离子体强度，从而帮助用户针对不同的样品设置不同的清洗参数。

浸没模式

柔和模式

Tergeo-EM氧原子清洗仪可清洗多种样品，比如高度污染的电镜光阑片、电子枪电极帽；敏感的石墨材料、碳纳米管以及DLC (diamond-like carbon)、TEM 碳膜等等。

Tergeo-EM通常使用空气或80%Ar+20%O2混合气作为气源，用户还可通过2或3路气体混合器使用自己定制化的气源。