EM-KLEEN 氧原子清洗仪

简介： 氧原子清洗仪不是一个普通意义上的“等离子清洗器”。等离子清洗器为广大电镜工作者所熟知，它利用加速后具有一定能量的离子体轰击样品从而达到清洁样品表面的目的，但同时会刻蚀损坏样品表面形貌。而氧原子清洗仪利用原子氧与碳氢化合物发生反应从而达到清洁样品表面的目的，同时保护样品免受热量和离子的轰击。氧原子与碳氢化合物反应后生成的CO2, CO和H2O分子被真空泵安全排出。

产品概述：

EM-KLEEN适合安装于扫描电镜样品仓，用于样品及腔室的清洗。

安装示意图

工作原理图

清洗后提高图像的对比度，消除荷电现象。

清洗十分钟后，堆积污染完全消除。

而且，不同于其他的等离子体清洗设备，EM-KLEEN工作时对扫描电镜涡轮分子泵无任何影响，所以清洗时无需关闭电镜涡轮分子泵。