简介： 本产品用于集成电路原型片测试
产品概述：
本产品是用于集成电路原型片实验(频闪实验, 电压衬度, EBIC, OBIC)的特殊样品台。为实现可重复的夹持及实验，IC被放置在一个弹簧支撑的锁扣夹持器里。
一个微型化的探针厢包含16根探针，可从左边折合直至碰到一个可调节的机械停止位。 此时，探针与IC的焊盘柔和接触。超细钨探针尖精准定位，每次均接触IC上的同一点。
该“微探针厢”几乎可以与任何扫描电镜样品台配合使用。如果电镜有样品交换仓，但交换仓能容纳70mm宽、40mm高的样品，该“探针厢”也可以适用。
