原位纳米力学测试仪

简介： NMT-SEM纳米力学测试仪是一款可在SEM/FIB中对微纳米材料和结构的力学性能进行原位测量的纳米机械手系统。测试原理是通过压阻传感器探针对微纳结构施加一定的力,同时利用位移传感器来测量该结构的形变。从测得的力和位移曲线可以定量地分析微纳米结构的力学性能。通过控制加载力的大小和方向,可实现拉伸、压缩、断裂、疲劳和蠕变等各种力学测试。同时,其配备的导电样品测试平台可以对微纳米结构的电学和力学性能进行同步测试。

产品概述及性能参数：

系统整体

系统尺寸：100 mm´ 40 mm ´ 34 mm

系统重量： 300 g + adapter

兼容性： SEM, FIB, dual beam, optical microscope

力学传感器

传感器工作原理：压阻式

力学分辨率： 5 nN at 100 Hz

力学量程： +/- 250 µN

位移粗动

移动方式：粘滑运动

自由度： XYZ + optional tilt and rotation

移动范围： 21 mm in Y; 11 mm in XZ; tilt 90°; rotation 360°

移动精度： <1 nm in XYZ, 25 μ° in tilt and rotation

移动重复性： 5 nm (per 1 mm range, for closed-loop option only)

最大移动速度： >15 mm/sec

位移微动

移动方式：柔性铰链

移动范围：10 µm (custom range available upon request) 

移动精度：0.1 nm at 100Hz

移动重复性： 0.5 nm