纳米机械手、纳米操纵仪

简介： 结合扫描电镜或光学显微镜，该纳米操纵仪（纳米机械手）可实现原位的纳米级操纵、移动、切割、焊接、力学性能测量、电学性能测量等各种实验，广泛应用于纳米机器人、材料科学、生命科学、半导体等各领域。

产品概述：

TNI LF系列纳米机械手是市面上自动化程度最高的纳米操作仪器。它具有定位精度高、重复精度高、基本无漂移、闭环控制等优点。

除可配备钨探针外，还可选配纳米镊子、纳牛级力学传感器、MEMS加热模块等各种附件。

性能指标

系统整体

系统尺寸：13´13´2.5厘米

机械手数量： 1 – 4 个

机械手粗动

移动方式：粘滑运动

移动范围： 10 mm in XY, 5 mm in Z

最大移动速度： >3 mm/sec

最小移动步幅： <100 nm

机械手微动

移动方式：无摩擦柔性铰链

移动范围： 20 μm in XYZ

最大移动速度： >45 μm/sec

开环移动精度： 0.1 nm

闭环移动精度： 1 nm

准确性：<5 nm

漂移： <0.35 nm/minute

软件功能

探针自动移动至鼠标划过的任意位置

探针移动速度随电镜图像放大倍数自动调整

探针坐标位置的存在/调用

探针位置实时3D 显示

传感器自动校准

等等