Axis Pro SS型电动微操控系统

【Axis Pro SS系统配置】

・Axis Pro 主机(Configuration changes depends on specification)
・LED照明单元 (反射式和透射式)
・GigE相机

・专用 PC (Windows 10 IoT Enterprise for Embedded 64bit)
・21.5英寸液晶显示器
・专用控制器  (MC-104)

可选附件 (Option)

• ・超精细螺距旋转器 – FIB lift out
• ・电动微镊子 – 30μm尺寸的抓取 / 剥离
• ・电动旋转样品台 – 优化样品方向
• ・2轴电动旋转样品台 – 优化样品（微栅、铜网）方向和送样位置
• ・机械样品台 – 优化调整刮擦、剪切
• ・暗场照明 – 区分微痕点和外来物
• ・对角线照明适配器 – 旋光样品 / 提高对比度

Axis Pro SS 应用示例

Axis Pro可结合以下设备使用

• ・Fourier transform infrared spectrometer (FTIR)
• ・Micro Fourier transform infrared spectrometer (μFTIR)
• ・Laser Raman Spectroscopy (μRAMAN)
• ・X-ray Diffraction (XRD)
• ・Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
• ・Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
• ・Electron Probe Micro Analyzer (EPMA)
• ・Gas Chromatography – Mass spectrometry(GC/MS)
• ・Liquid Chromatography – Mass Spectrometry(LC-MS)
• ・Fourier-Transform Nuclear Magnetic Resonance Spectrometry (FT-NMR)
• ・Transmission Electron Microscope (TEM)
• ・Scanning Electron Microscope (SEM)
• ・Focused Ion Beam (FIB)
• ・Scanning Probe Microscope (SPM)
• ・Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS)