Axis Pro FC型罩式显微镜微操控系统
【Axis Pro FC 总览】
■前置安全玻璃 ■可精确移动5μm尺寸的物体 |
【Axis Pro FC系统配置】
・Axis Pro FC型罩式显微镜微操控系统主机 (Configuration changes depends on specification)
・LED照明单元 (反射式和透射式)
・GigE 相机
・专用 PC (Windows 10 IoT Enterprise for Embedded 64bit)
・21.5 英寸液晶显示器
・专用控制器 (MC-104)
可选附件 (Option)
- ・超精细螺距旋转器 – FIB lift out
- ・电动微镊子 – 30μm尺寸的抓取 / 剥离
- ・电动旋转样品台 – 优化样品方向
- ・2轴电动旋转样品台 – 优化样品(微栅、铜网)方向和送样位置
- ・机械样品台 – 优化调整刮擦、剪切
- ・暗场照明 – 区分微痕点和外来物
- ・对角线照明适配器 – 旋光样品 / 提高对比度
Axis Pro FC应用示例
Axis Pro 可结合以下设备使用
- ・Fourier transform infrared spectrometer (FTIR)
- ・Micro Fourier transform infrared spectrometer (μFTIR)
- ・Laser Raman Spectroscopy (μRAMAN)
- ・X-ray Diffraction (XRD)
- ・Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF)
- ・Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF)
- ・Electron Probe Micro Analyzer (EPMA)
- ・Gas Chromatography – Mass spectrometry(GC/MS)
- ・Liquid Chromatography – Mass Spectrometry(LC-MS)
- ・Fourier-Transform Nuclear Magnetic Resonance Spectrometry (FT-NMR)
- ・Transmission Electron Microscope (TEM)
- ・Scanning Electron Microscope (SEM)
- ・Focused Ion Beam (FIB)
- ・Scanning Probe Microscope (SPM)
- ・Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS)