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简介： 氧原子清洗仪不是一个普通意义上的“等离子清洗器”。等离子清洗器为广大电镜工作者所熟知，它利用加速后具有一定能量的离子体轰击样品从而达到清洁样品表面的目的，但同时会刻蚀损坏样品表面形貌。而氧原子清洗仪利用原子氧与碳氢化合物发生反应从而达到清洁样品表面的目的，同时保护样品免受热量和离子的轰击。氧原子与碳氢化合物反应后生成的CO2, CO和H2O分子被真空泵安全排出。

简介： 氧原子清洗仪不是一个普通意义上的“等离子清洗器”。等离子清洗器为广大电镜工作者所熟知，它利用加速后具有一定能量的离子体轰击样品从而达到清洁样品表面的目的，但同时会刻蚀损坏样品表面形貌。而氧原子清洗仪利用原子氧与碳氢化合物发生反应从而达到清洁样品表面的目的，同时保护样品免受热量和离子的轰击。氧原子与碳氢化合物反应后生成的CO2, CO和H2O分子被真空泵安全排出。